Влияние различных параметров проточной части цилиндрического молекулярного вакуумного насоса на его характеристики

Полный текст:


Аннотация

В работе произведена оценка эффективности влияния основных конструктивных параметров проточной части цилиндрического молекулярного вакуумного насоса на его характеристики в широком диапазоне давлений с использованием разработанной авторами ранее математической модели процесса откачки газа цилиндрическим молекулярным вакуумным насосом. Представлены зависимости быстроты откачки и отношения давлений от основных параметров проточной части цилиндрического вакуумного молекулярного насоса. Произведен анализ полученных в ходе исследований характеристик, сделаны выводы и даны рекомендации по выбору основных оптимальных параметров проточной части цилиндрического молекулярного вакуумного насоса. Критерием оптимальности выбран минимальный условный объем проточной части. DOI: 10.7463/aplts.0315.0785997

Об авторах

К. Е. Демихов
МГТУ им. Н.Э. Баумана
Россия


А. А. Очков
МГТУ им. Н.Э. Баумана
Россия


А. . Полежаев
МГТУ им. Н.Э. Баумана
Россия


Список литературы

1. Демихов К.Е., Никулин Н.К. Оптимизация высоковакуумных механических насосов. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2010. 255 с

2. Демихов К.Е., Очков А.А. Математическая модель процесса откачки газа цилиндрическим молекулярным вакуумным насосом в широком диапазоне давлений // Наука и Образование. МГТУ им. Н.Э. Баумана. Электрон. журн. 2014. № 12. С . 200-209. DOI:10.7463/1214.0748304

3. The Vacuum Technology Book. Volume II. GmbH: Pfeiffer Vacuum, 2013

4. Giors S., Colombo E., Inzoli F., Subba F., Zanino R. Computational fluid dynamic model of a tapered Holweck vacuum pump operating in the viscous and transition regimes. I. Vacuum performance // Journal of Vacuum Science and Technology. Part A. 2006. Vol. 24, no. 4. P. 1584-1591. DOI:10.1116/1.2178362


Дополнительные файлы

Для цитирования: Демихов К.Е., Очков А.А., Полежаев А... Влияние различных параметров проточной части цилиндрического молекулярного вакуумного насоса на его характеристики. Машины и установки: проектирование, разработка и эксплуатация. 2015;(3):1-8.

For citation: Demikhov K.E., Ochkov A.A., Polezhaev A. Various Parameters of the Flowing Part of a Cylindrical Molecular Vacuum Pump Effecting on Its Characteristics. Machines and Plants: Design and Exploiting. 2015;(3):1-8. (In Russ.)

Просмотров: 67

Обратные ссылки

  • Обратные ссылки не определены.


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 2412-592X (Online)